ВНИИФТРИ разрабатывает новый эталон по измерениям в микроэлектронике

Во Всероссийском научно-исследовательском институте радиотехнических и физико-технических измерений (ВНИИФТРИ) Росстандарта прошло плановое заседание Рабочей группы по стандартизации, метрологии, качества и оценки соответствия при Консультативном Совете Министерства промышленности и торговли Российской Федерации.

Рабочая группа рассмотрела вопросы стандартизации в области электронного машиностроения в части измерений на полупроводниковых пластинах; развития информационно-аналитической системы ЦСМ для метрологов; совершенствования законодательства РФ в области обеспечения единства измерений в сфере охраны здоровья граждан и др.

ФГУП «ВНИИФТРИ» обратило внимание на необходимость разработки проектов стандартов по измерениям на полупроводниковой пластине и направлении их в технический комитет ТК 312 «Электронное машиностроение и специальные материалы», контролируемый Росстандартом, для включения их в План национальный стандартизации на 2026 г.

В настоящее время ФГУП «ВНИИФТРИ» разрабатывает специальный эталон единиц комплексного коэффициента передачи и отражения (ККП и ККО) на полупроводниковой пластине и, в кооперации с технологическими партнерами, налаживает производство отечественных калибровочных пластин и зондов с целью обеспечения единства измерений в этой области. Эталон будет состоять из зондовой станции, векторного анализатора цепей, измерительных зондов и вспомогательного оборудования. В качестве калибровочных пластин и измерительных зондов предполагается использовать изделия отечественного производства.

«Полупроводниковые пластины являются основным материалом для производства интегральных схем и других электронных компонентов в микроэлектронике и должны обеспечивать высокую степень точности и надежности в измерениях. Сегодня разработка и внедрение стандартов, регулирующих эти процессы, стали производственной необходимостью в области электронного машиностроения, обеспечивающей высокое качество и надежность продукции. Единые подходы к определению метрологических характеристик эталонных мер и способов передачи единиц (единиц ККО и ККП), воспроизводимых новым эталоном, конечному потребителю, позволят повысить достоверность результатов измерений при разработке, испытаниях и производстве продукции отечественной микроэлектроники», - отметил начальник НИО-1 ФГУП «ВНИИФТРИ», к.т.н. Олег Каминский.

Рабочая группа направит свои предложения в Консультативный Совет Минпромторга РФ для дальнейшей работы.