Ассоциация государственных научных центров "НАУКА"
Ассоциация государственных научных центров "НАУКА"
Реализация проекта позволила вдвое увеличить производительность кремниевого участка и обеспечить возможность легирования слитков диаметром до 200 мм. Высококачественные полупроводники из нейтронно-легированного кремния сегодня широко используются в отечественной электронной и электротехнической промышленности в рамках стратегических инициатив по достижению технологической независимости страны.
«В ходе работ по проекту, начавшихся в 2020 году, спроектированы, изготовлены и смонтированы новые экспериментальные каналы реактора, облучательные устройства с электроприводами и системой управления, новая печь для отжига слитков кремния, химический бокс с вытяжным шкафом. Модернизирована система электроснабжения и освещения. Приобретено и установлено новое измерительное оборудование», — прокомментировал итоги работ руководитель проекта, начальник реакторного исследовательского комплекса ГНЦ НИИАР Алексей Петелин.
Разработка проекта, изготовление оборудования, монтажные и пуско-наладочные работы выполнены специалистами реакторного исследовательского комплекса, департамента по проектированию и конструированию, опытно-экспериментальной службы и централизованной службы ремонта технологического оборудования ГНЦ НИИАР.